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第九五五章 交换专利(2/2)

作者:解剖老师
会出面协调,不给下属留下偏袒一方的把柄,避免秋后算账,他只会告诉余建国,他将入股蔡司公司,解决光学系统的难题,相信余建国和邓国辉知道公司急需什么技术?处在优势位置,在谈判桌上,不会吃亏。

有了世界第一的r准分子激光器专利技术的终身授权,光源厂就能合法生产r准分子激光器(不能出售和转让专利技术),邓国辉团队在研究透了r准分子激光器的基础上,开始研发ri准分子激光器,提前研制193nm浸没式光刻机,一旦研制成功,必将脱胎换骨。

浸没式光刻系统是前世台积电林工程师的建议,被投入巨资研究2准分子激光器的尼康和佳能等光刻机光源专家嗤之以鼻,但冒险采纳了这个建议,攻克了光刻机193nm波长的世界性光学难题,生产了全球第一台浸没式光刻机,一举成名!
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